熱式氣體質量流量計專用于單一組分的氣體或固定比例的混合氣體測量，目前已廣泛應用于石油、化工、半導體、醫療儀器、生物工程、燃燒控制、配氣、環境監測、精密儀器、科研、計量、食品、冶金、航天航空等領域。

熱式質量流量計用于精密測量和自動控制氣體的質量流量。采用標準輸入輸出信號，可實現計算機集中控制。在大慶石化公司就有多種形式的應用，比如聚丙烯裝置氫氣流量表FT-121A/B采用的是BROOKS量熱流量計，量程為1.45Kg/H和9.5Kg/H。與傳統的流量計相比，它不需配置溫度、壓力變送器，不用進行溫度、壓力的補償就能直接測量質量流量(在標準狀態下，0℃，101.325KPa)。當氣體作為生產過程中的控制變量時(例如燃燒、化學反應、通風排氣、產品烘干等)，使用質量流量控制器直接測量，可控制氣體的克分子數量。

如果要保持定量的氣體混合作為混料或配料，或者要優化化學反應過程，到目前為止還沒有比使用質量流量控制器更好的技術。質量流量控制器連續可調控制流量，通過顯示儀還可獲得累積流量。

熱式質量流量計還是管道系統、閥門類密封性檢測的較好儀器，它直接顯示漏氣量。質量流量計性能價格比高，易于安裝，操作簡便，使用質量流量計和質量流量控制器產品是最合理的選擇之一。

由于此類質量流量計的傳感器是熱式原理，如果氣體不是干燥的氣體，將影響傳熱效率，從而影響傳感器的輸出信號和測量精度。